純水和超純水廣泛用于電廠、電子、醫(yī)藥、化工行業(yè)，通過各種膜的過濾或離子交換作用，將水中的有害離子去除。

電廠：電廠多用的脫鹽水，其脫鹽水水質(zhì)的主要指標(biāo)為：硬度約等于零，電導(dǎo)率≤0.2μs.cm，SiO2≤20ppb。

化工廠：化工用水多種多樣，通常水質(zhì)不會比電廠水質(zhì)要求高，但可能會對某些離子有要求，所以常用一級或二級反滲透工藝。出水水質(zhì)電導(dǎo)為5~10μs.cm以上。如有更高的要求則后面加混床或EDI。

醫(yī)藥：醫(yī)藥用水多對電導(dǎo)和細(xì)菌作要求，對系統(tǒng)所用材料材質(zhì)有要求，多選用不銹鋼產(chǎn)品。通常純水后要加殺菌消毒裝置。

電子行業(yè)：電子行業(yè)對水的要求是較高的，多數(shù)電子用水要求達(dá)到18兆。對電阻率的要求只是電子用水的一小部分，它對其中很多離子都有較高要求，所以對安裝材料及管道有特殊要求。選用工藝也是較復(fù)雜的。通常要在EDI后加拋光混床及超濾、殺菌、氮封水箱等裝置，造價也很高。